清順治元年（1644）十二月，清軍進(jìn)入延川縣，延川縣隸屬于陜西省延榆綏道延安府。
1911年辛亥革命后，廢除府和隸州建制，全國設(shè)省、道、縣。
1913年，延川縣該屬榆林道。
1933年，廢除道建制，延川縣直屬陜西省。
1934年底，延川縣境內(nèi)成立延水縣、赤光縣。
1935年1月，中國共產(chǎn)黨陜北特別委員會在革命根據(jù)地延川縣西部置赤光縣，2月在延川縣東部設(shè)置延水縣同月將赤光縣改為延川縣，延川、赤水縣隸屬陜北省蘇維埃政府轄。
5月永平解放，延川縣蘇維埃政府遷駐永平鎮(zhèn)；6月，延川縣城解放，延水縣蘇維埃政府遷址縣城。
1937年9月，延水縣并入延川縣，縣政府設(shè)在延川縣城，歸屬陜甘寧邊區(qū)政府直轄；1943年1月，該歸陜甘寧邊區(qū)延屬分區(qū)行政督察專員公署轄；1949年1月，撤銷延屬分區(qū)，改歸陜北行政公署轄；1950年5月，該歸綏德專區(qū)轄；1955年10月，改歸延安專區(qū)轄。
1958年12月，延川縣并入延長線。
1961年8月，恢復(fù)延川縣，隸屬于延安地區(qū)行政公隸，至今未變，沿用至今。